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單組分密度計

單組分密度計

產(chǎn)品型號： FUD-1 Model-130

所屬分類：密度計

產(chǎn)品時間：2024-09-10

簡要描述：日本富士工業(yè)fuji單組分密度計FUD-1 Model-130
該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢（例如可維護(hù)性和高精度的在線測量）的同時，還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元變送器。

詳細(xì)說明：

日本富士工業(yè)fuji單組分密度計FUD-1 Model-130

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-13的優(yōu)勢（例如可維護(hù)性和高精度的在線測量）的同時，還具有用于半導(dǎo)體制造過程的小型單元變送器。

單組分密度計的特點

可以進(jìn)行實時濃度測量，并且很容易建立濃度控制系統(tǒng)。

  • 配備模擬DC 4至20mA和數(shù)字RS232C作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
  • 標(biāo)配測量誤差輸出和報警輸出
  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
  • 小巧輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
  • 由于使用PFA的潤濕部件的質(zhì)量和小產(chǎn)量設(shè)計，因此對化學(xué)溶液沒有影響。?

優(yōu)點

  • 高精度連續(xù)測量
  • 免維護(hù)，無需定期調(diào)整和校準(zhǔn)
  • 易于安裝，無需在安裝過程中進(jìn)行各種調(diào)整
  • 通過實時輸出輕松反饋到過程?

用途

  • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
  • 控制稀釋過程中各種化學(xué)品的濃度（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
  • 清潔過程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IP

?日本富士工業(yè)fuji單組分密度計FUD-1 Model-130

規(guī)格

格式FUD-1模型13
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
展示LCD（濃度/溫度/聲速/各種參數(shù)）
輸出信號模擬DC4至20mA（可以自由設(shè)置濃度值）
數(shù)字RS232C（濃度/溫度/聲速/錯誤代碼）
警報上/下限測量錯誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz（也可以使用DC24V）
建造面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)），板載安裝類型（可以選裝在防雨箱中）
環(huán)境溫度0至50°C相對濕度85％以下（無冷凝）
0至100°C特殊規(guī)格-10至160°C（100°C寬度）
功能輸出范圍設(shè)置，警報輸出設(shè)置，濃度顯示移動平均值，濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能，自診斷功能，故障保護(hù)功能，異常值取消
RS485輸出（不能與RS232C同時輸出）
選項溫度輸出（DC4-20mA）
渠道高達(dá)10ch
兼容發(fā)射器型號13 ： SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5


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