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日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)

產(chǎn)品型號： FUD-1 Model-130

所屬分類：

產(chǎn)品時間：2024-09-05

簡要描述：日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130
Model-130是一個概念模型，強(qiáng)調(diào)了所測量濃度的穩(wěn)定性，
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。

詳細(xì)說明：

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

產(chǎn)品總覽

該模型被定位為FUD-1 Model-13的模型，可滿足諸如高精度和高穩(wěn)定性測量等客戶需求。

單組分密度計(jì)的特點(diǎn)

Model-130是一個概念模型，強(qiáng)調(diào)了所測量濃度的穩(wěn)定性，
在需要高精度和高穩(wěn)定性密度計(jì)側(cè)的半導(dǎo)體制造過程中非常有效。		 

值得

  • 可以高精度連續(xù)測量
  • 免維護(hù)，無需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
  • 易于安裝，因?yàn)樵诎惭b過程中無需進(jìn)行任何調(diào)整
  • 通過實(shí)時輸出輕松反饋到過程

 

用途

  • CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制
  • 稀釋過程中各種化學(xué)濃度的管理（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
  • 清潔過程中的清潔液濃度控制（HF，NH4OH，KOH，IPA等）
  • 控制蝕刻過程中的蝕刻液濃度（HF，H2SO4等）
  

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計(jì)FUD-1 Model-130

規(guī)范

格式FUD-1 130型
測量參數(shù)超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD（密度，溫度，聲速/各種參數(shù)）
輸出信號模擬DC4-20mA（可設(shè)置任何濃度值）
數(shù)字RS232C（密度/溫度/聲速/錯誤代碼）
警報(bào)上下限測量錯誤
電源供應(yīng)AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
施工面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）
功能輸出范圍設(shè)定功能，警報(bào)輸出設(shè)定功能，濃度顯示移動平均功能，濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能，自診斷功能，故障保險(xiǎn)功能，異常值取消功能
選項(xiàng)溫度輸出（DC4?20mA）
渠道高達(dá)10Ch
電纜6米
濕件材料PFA涂料
配件公稱直徑為1/2到1英寸的各種類型
測量環(huán)境轉(zhuǎn)換器
10-40 ℃ RH85％以下
 發(fā)射機(jī) 5-45°攝氏度
 測量液體溫度 0-50°攝氏度
 耐壓性 0.3兆帕
流量5 l / min以下


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